機(jī)械泵并不能獲得較高的真空度，要獲得更高的真空度，可采用擴(kuò)散泵，并與機(jī)械泵構(gòu)成高真空機(jī)組。機(jī)械泵作為擴(kuò)散泵的前置泵，高真空機(jī)組的工作真空度可達(dá)10-2-10-5Pa。擴(kuò)散泵工作時，內(nèi)有高速流動的蒸汽流，被抽氣體擴(kuò)散到蒸汽流中，然后被蒸汽流帶往排氣口，達(dá)到抽氣的目的，因此擴(kuò)散泵又稱為蒸氣射流泵。蒸氣流由工作介質(zhì)油經(jīng)過加熱產(chǎn)生，這種利用油作為工作介質(zhì)的擴(kuò)散泵叫做油擴(kuò)散泵。

 

      油擴(kuò)散泵上部為進(jìn)氣口，通過主閥門與真空爐腔相連，右下方是與前級泵連接的出氣口，底部儲有擴(kuò)散泵油的蒸發(fā)室，中間是帶有導(dǎo)流管的傘形噴嘴，金屬外殼周圍安裝有冷卻水管，擴(kuò)散泵油靠蒸發(fā)室下面的電爐加熱。

 

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